半导体工业用洁净型放大器内置压力传感器 • 電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理 • VCR・UJR継手の1/4, 3/8, 1/2およびオネジ・メネジに対応 • 接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造 測定媒体 各種ガス・液体などSUS316Lを腐食させない媒体 測定種類 正圧・連成圧の測定が可能 測定範囲 定格容量0.3~20 MPaの範囲でご*可能です また、-0.1~1MPaなどの連成圧での校正も可能です 出力種類 4~20mA(2線式),1~5V,0~5V,0~10Vからご*ください 仕様 精度 ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.6%R.C.) 温度補償範囲(測定媒体温度) 0~60℃(結露、氷結不可) 許容温度範囲(測定媒体温度) 0~80℃(結露、氷結不可) 温度ドリフト ±0.5%R.C./10℃ 許容過負荷 200%R.C.(20MPa:150%R.C.) リーク量 1×10-10Pa・m³/sec.以下 受圧接液部材質 SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法 シール方法 特殊電子ビーム溶接 接液部表面仕上げ 電解研磨(Ra0.3μm以下)および精密洗浄 継手形状 VCR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ UJR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ ケーブル PVC被覆4芯(電流タイプは2芯)シールド 3m(UL規格対応品) 直出しまたはコネクタ接続 質量 約280g(ケーブル3m含む) 付属品 取扱説明書1部(和文または英文をご*ください) 試験成績書1部